ნახევარგამტარული ინდუსტრია აგრესიულად ცდილობს 2 ნმ-ზე ნაკლები სისქის ტექნოლოგიური კვანძების განვითარებას, ამიტომ მექანიკური შეცდომების ალბათობა პრაქტიკულად გაქრა. ამ მაღალი რისკის გარემოში, ტექნოლოგიური კამერის სტაბილურობა აღარ არის მეორეხარისხოვანი საზრუნავი; ის წარმოადგენს მოსავლიანობის მთავარ შემაფერხებელ ფაქტორს. ZHHIMG-ში ჩვენ ვაკვირდებით ფუნდამენტურ ცვლილებას იმაში, თუ როგორ უყურებენ გლობალური OEM-ები ნახევარგამტარული კაპიტალური აღჭურვილობის სტრუქტურულ მთლიანობას.
სიჩუმის ფიზიკა: ვიბრაციის ჩამხშობი მოწინავე ტექნიკა
თანამედროვე ვაფლის წარმოებაში ვიბრაციები, რომლებიც ოდესღაც „ფონურ ხმაურად“ ითვლებოდა, ახლა კატასტროფულია. იქნება ეს ობიექტის HVAC სისტემიდან მიკრორხევები თუ მაღალსიჩქარიანი სკანირების სცენის შიდა ინერცია, უკონტროლო ენერგია პირდაპირ გადადის გადაფარვის შეცდომებსა და ბუნდოვან შაბლონებში.
ნახევარგამტარების წარმოებაში ვიბრაციის დემპინგის ამჟამინდელი ტექნიკა მრავალშრიან არქიტექტურად განვითარდა. მიუხედავად იმისა, რომ პასიური დემპინგი — მაღალი მასის მასალების, როგორიცაა მინერალური ჩამოსხმა ან ზუსტი გრანიტი — გამოყენება — კვლავ საფუძვლად რჩება, ჩვენ ვხედავთ აქტიური დემპინგის ინტეგრაციის ზრდას.
აქტიური სისტემები იყენებენ პიეზოელექტრულ აქტივატორებს და რეალურ დროში მომუშავე სენსორებს ვიბრაციების „გასაუქმებლად“ უკუსიხშირეების გენერირებით. თუმცა, აქტიური სისტემების ეფექტურობა ბუნებრივად შეზღუდულია საბაზისო მასალის დემპფერაციის კოეფიციენტით. სწორედ აქ ხდება ZHHIMG-ის ექსპერტიზა მაღალი დემპფერაციის მქონე სტრუქტურულ მასალებში კრიტიკული. აქტიური ელექტრონიკის ბუნებრივად ინერტულ გრანიტთან ან კომპოზიტურ ბაზასთან შერწყმით, ჩვენ ვქმნით „მშვიდ ზონას“, სადაც ნანოპოზიციონირება შესაძლებელია ჩარევის გარეშე.
ხახუნის გარეშე მოძრაობის აღზევება: ჰაერის საკისრების ტექნოლოგია
მაღალი გამტარუნარიანობის მოთხოვნამ ტრადიციული მექანიკური საკისრები თავის ზღვრამდე მიიყვანა. ხახუნი იწვევს სითბოს, ხოლო სითბო - თერმულ გაფართოებას - სიზუსტის მტერს. ამან გამოიწვია ფართოდ გავრცელება.ჰაერის საკისრების ტექნოლოგია ზუსტი ეტაპებისთვის.
ჰაერის საკისრები იტანენ დატვირთვას წნევით შეწნეული ჰაერის თხელ ფენაზე, რომელიც, როგორც წესი, მხოლოდ რამდენიმე მიკრონის სისქისაა. ფიზიკური კონტაქტის არარსებობის გამო, სტატიკური ხახუნი (შეწებება) ნულოვანია. ეს საშუალებას იძლევა:
-
ჰისტერეზისისგან თავისუფალი მოძრაობა: უზრუნველყოფს, რომ სცენა ყოველ ჯერზე იმავე ნანომეტრიულ კოორდინატზე დაბრუნდეს.
-
სიჩქარის მუდმივობა: კრიტიკულად მნიშვნელოვანია სკანირების ისეთი აპლიკაციებისთვის, როგორიცაა E-სხივის შემოწმება, სადაც მექანიკური საკისრის უმცირესი „დაჭიმვაც“ კი გამოსახულებას ამახინჯებს.
-
უკიდურესი გამძლეობა: რადგან არ აქვს შეხებადი ნაწილები, არ ცვდება და არ წარმოიქმნება ნაწილაკები, რაც მათ იდეალურს ხდის პირველი კლასის სუფთა ოთახებისთვის.
ZHHIMG-ში ჩვენ ვამზადებთ ულტრაბრტყელ გრანიტის ზედაპირებს, რომლებიც ამ ჰაერის საკისრებისთვის სახელმძღვანელო გზებს წარმოადგენენ. სწორად ფუნქციონირებისთვის, ეს ზედაპირები უნდა დაიფაროს სიბრტყემდე, რომელიც იზომება სინათლის ტალღის სიგრძის ფრაქციებში.
ნახევარგამტარული კაპიტალური აღჭურვილობის ტენდენციები: 2026 და შემდგომი
როდესაც 2026 წელს გადავდივართ,ნახევარგამტარული კაპიტალური აღჭურვილობის ტენდენციებიხასიათდება „სამი სვეტით“: მოდულარიზაცია, მდგრადობა და თერმული კონტროლი.
-
მოდულური პლატფორმის დიზაინი: ორიგინალი მწარმოებლები ეძებენ „ჩართე და იმუშავე“ საბაზისო მოდულებს. თითოეული ხელსაწყოსთვის ახალი ბაზის დიზაინის ნაცვლად, ისინი იყენებენ სტანდარტიზებულ ZHHIMG-ის სიზუსტის საფუძვლებს, რომელთა ადაპტირება შესაძლებელია ლითოგრაფიისთვის, მეტროლოგიისთვის ან გრავირებისთვის.
-
თერმული მართვა: რადგან EUV (ექსტრემალური ულტრაიისფერი) სინათლის წყაროები უზარმაზარ სითბოს წარმოქმნიან, მანქანის ძირი მასიური სითბოს ჩამძირავი უნდა იყოს. ჩვენ კომპლექსურ გაგრილების არხებს პირდაპირ ვაერთებთ ჩვენს მინერალურ და გრანიტის კომპონენტებში, რათა შევინარჩუნოთ დელტა $<0.01^\circ\text{C}$.
-
ვაკუუმთან თავსებადობა: მაღალი ვაკუუმის გარემოში პროცესების მზარდი რაოდენობის გათვალისწინებით, გამოყენებულ მასალებს ნულოვანი გამოყოფა უნდა ჰქონდეს. ჩვენი სპეციალიზებული გრანიტისა და კერამიკის დამუშავება უზრუნველყოფს, რომ ვაკუუმის მთლიანობა არასდროს დაირღვეს სტრუქტურული საფუძვლის გამო.
სტრატეგიული პარტნიორობა ZHHIMG-თან
ZHHIMG არ არის მხოლოდ კომპონენტების მწარმოებელი; ჩვენ ვართ სტრატეგიული პარტნიორი მოძრაობის კონტროლის მიწოდების ჯაჭვში. ჩვენი ქარხანა ჩინეთში მჭიდრო თანამშრომლობით მუშაობს სილიკონის ველისა და ეინდჰოვენის საინჟინრო გუნდებთან, რათა გადაჭრას ინდუსტრიაში სტაბილურობის ყველაზე რთული გამოწვევები.
ჩვენი საკუთრების ლაქირების ტექნიკისა და ჩვენი ღრმა გაგების გამოყენებითვიბრაციის დემპფინგის ტექნიკა, ჩვენ ჩვენს კლიენტებს საშუალებას ვაძლევთ, გააფართოვონ მურის კანონის საზღვრები. იქნება ეს ახალი თაობის ALD (ატომური ფენის დეპონირების) ინსტრუმენტი თუ მაღალსიჩქარიანი ვაფლის ზონდი, საფუძველი ZHHIMG-ით იწყება.
დასკვნა
ნახევარგამტარების წარმოების ევოლუცია ფიზიკის კანონების წინააღმდეგ რბოლაა. ინდუსტრია 2026 წლისკენ მიემართება, რაც კიდევ უფრო გაძლიერდება ჰაერის საკისრების სიზუსტესა და მოწინავე დემპფერაციაზე ფოკუსირება. ამ ტენდენციების წინსვლა მოითხოვს საფუძველს, რომელიც დაფუძნებულია ექსპერტიზასა და ინოვაციაზე - როგორც პირდაპირი, ასევე გადატანითი მნიშვნელობით.
გამოქვეყნების დრო: 2026 წლის 26 იანვარი