ზუსტი გრანიტის კომპონენტების 8 ტიპიური გამოყენება ნახევარგამტარულ მოწყობილობებში

ნახევარგამტარების ინდუსტრიაში, სადაც „ნანომეტრი“ გაზომვის სტანდარტული ერთეულია, აღჭურვილობის სტრუქტურული მთლიანობა უდავოა. ჩიპური კვანძების 5 ნმ-მდე და მეტამდე შემცირებასთან ერთად, ვიბრაციის ჩამხშობისა და თერმული სტაბილურობის მოთხოვნა უკიდურეს დონეს აღწევს. ზუსტი გრანიტის კომპონენტები მაღალი კლასის ვარიანტიდან ნახევარგამტარების წარმოების აპარატურის აუცილებელ „დნმ-ად“ გადაიქცა.

როგორც მაღალი სტაბილურობის აღჭურვილობის სტრუქტურების წამყვანი მიმწოდებელი, ZHHIMG® აანალიზებს რვა ყველაზე კრიტიკულ გამოყენებას, სადაც გრანიტი ქარხნის ჩუმი გმირია.

1. ლითოგრაფიული მანქანების საფუძვლები

ლითოგრაფიული აპარატი ნახევარგამტარული ჯაჭვის ყველაზე რთული მოწყობილობაა. ფუძემ უნდა იჭერდეს მასიურ ოპტიკურ სისტემებს და ამავდროულად იდეალურად უძრავად დარჩეს. გრანიტის მაღალი სიმკვრივე და შიდა დემპფერაცია საშუალებას აძლევს მას შთანთქოს გარემომცველი გარემოდან მიკროვიბრაციები, რაც უზრუნველყოფს სინათლის წყაროს ატომურ დონეზე გასწორებას.

2. ჰაერის მოძრაობის ეტაპები

მაღალსიჩქარიანი ვაფლის ტრანსპორტირება ხახუნის გარეშე მოძრაობას მოითხოვს. რადგან გრანიტის დამუშავება მიკრონულ სიბრტყემდეა შესაძლებელი, ის ჰაერის საკისრების ტექნოლოგიის იდეალურ პარტნიორს წარმოადგენს. „ჰაერის ბალიში“ გრანიტის ზედაპირზე ნულოვანი ცვეთის გარეშე სრიალებს, რაც უზრუნველყოფს სკანირებისა და პოზიციონირებისთვის საჭირო ულტრაგლუვ მოძრაობას.

3. ვაფლის ინსპექტირებისა და მეტროლოგიის პლატფორმები

გრავირების შემდეგ, ვაფლები დეფექტებზე უნდა შემოწმდეს. მანქანის ჩარჩოში ნებისმიერი თერმული გაფართოება გამოიწვევს „ცრუ დადებით“ ან გამოტოვებულ დეფექტს.ზუსტი გრანიტის კომპონენტებიუზრუნველყოს თერმულად ინერტული გარემო, რაც უზრუნველყოფს, რომ შემოწმების მონაცემები ვაფლის ზედაპირის ზუსტ ანარეკლს წარმოადგენდეს და არა მანქანის დამახინჯებას.

4. პორტალური მოძრაობის სისტემები (ხიდის კონსტრუქციები)

მაღალსიჩქარიანი კუბიკებად დაჭრის ან მავთულის შეერთებისას, „ხიდი“ ან პორტალი სწრაფად უნდა მოძრაობდეს რხევის გარეშე. გრანიტის პორტალი თუჯთან შედარებით უფრო მაღალ სიმტკიცესა და მასას თანაფარდობას გვთავაზობს, რაც მნიშვნელოვნად ამცირებს „დამშვიდების დროს“ - დროს, რომელიც მანქანამ უნდა დაელოდოს ვიბრაციების შეწყვეტას, სანამ შემდეგი დავალების შესრულებას შეძლებს.

5. ლაზერული შეკეთების აღჭურვილობის ჩარჩოები

როდესაც ნიღაბზე ან ვაფლზე დეფექტი აღმოჩნდება, ლაზერები გამოიყენება ზუსტი შეკეთებისთვის. ეს მოითხოვს სტრუქტურულ საფუძველს, რომელიც სრულიად არამაგნიტური და არაგამტარია. გრანიტი ბუნებრივად იზოლირებულია, რაც ხელს უშლის ელექტრომაგნიტური ჩარევის გავლენას ლაზერის ნაზ გზაზე.

6. CMM (კოორდინატების საზომი მანქანები) სუფთა ოთახებისთვის

ნახევარგამტარული ქარხნის ხარისხის კონტროლი მოითხოვს CMM-ებს, რომლებსაც შეუძლიათ გაუძლონ სუფთა ოთახის მკაცრ პროტოკოლებს. ლითონისგან განსხვავებით, რომელსაც შეუძლია ნაწილაკების გამოყოფა ან დაჟანგვა, გრანიტი მჟავაგამძლე და ჟანგგამძლეა, რაც ინარჩუნებს აღჭურვილობის მაღალ სტაბილურ სტრუქტურას გარემოს დაბინძურების გარეშე.

7. ქიმიური მექანიკური გასაპრიალებელი (CMP) ბაზები

CMP პროცესი მოიცავს შლამს და ქიმიურ აგენტებს, რომლებიც ლითონებისთვის ძლიერ კოროზიულია. გრანიტის ბუნებრივი ქიმიური მდგრადობა მას იდეალურ მასალად აქცევს გასაპრიალებელი ერთეულების სტრუქტურული საფუძვლისთვის, რაც უზრუნველყოფს მის ხანგრძლივ ექსპლუატაციას მკაცრ ქიმიურ გარემოშიც კი.

8. იონური იმპლანტაციის სისტემები

იონური იმპლანტატორების მაღალი ძაბვის გარემოში საჭიროა კომპონენტები, რომლებიც ხელს არ შეუშლიან იონურ სხივებს და არ ქმნიან ელექტრულ რკალს. გრანიტის დიელექტრიკული თვისებები მას უსაფრთხო და სტაბილურ არჩევნად აქცევს მგრძნობიარე ელექტრო და ვაკუუმური კომპონენტების დასამონტაჟებლად.

რატომ ZHHIMG® ნახევარგამტარული ინფრასტრუქტურისთვის?

ZHHIMG®-ში ჩვენ გვესმის, რომ ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ბაზა უბრალოდ ქვის ნაჭერზე მეტია - ეს არის დაკალიბრებული ინსტრუმენტი. ჩვენი სპეციალიზებული შავი გრანიტი, ჩვენს 30+ წლიან ხელით დაფქვის ექსპერტიზასთან ერთად, საშუალებას გვაძლევს მივაღწიოთ სიბრტყესა და პარალელიზმის ხარისხს, რომელიც აკმაყოფილებს სუბმიკრონული ეპოქის მკაცრ მოთხოვნებს.

• მასალა: მაღალი სიმკვრივის, ულტრაწვრილმარცვლოვანი ZHHIMG® შავი გრანიტი.

• სიზუსტე: სიზუსტის კლასები DIN 876 Grade 00-ის ან JIS/ASME-ს მორგებული სპეციფიკაციების შესაბამისად.

• პერსონალიზაცია: ინტეგრირებული ჩანართები, T-ს მაგვარი ჭრილები და ჰაერის გამტარი ლიანდაგები წინასწარ არის დამონტაჟებული ჩვენს 10,000 მ² მუდმივი ტემპერატურის სახელოსნოებში.