ნახევარგამტარების წარმოების უკან მდგომი „კლდის ძალის“ გაშიფვრა - როგორ შეუძლია გრანიტის ზუსტი კომპონენტების მიერ ჩიპების წარმოების ზუსტი საზღვრების შეცვლას

ნახევარგამტარების წარმოების სიზუსტის რევოლუცია: როდესაც გრანიტი ხვდება მიკრონის ტექნოლოგიას
1.1 მოულოდნელი აღმოჩენები მასალათმცოდნეობაში
SEMI-ის საერთაშორისო ნახევარგამტარების ასოციაციის 2023 წლის ანგარიშის თანახმად, მსოფლიოში არსებული მოწინავე ქარხნების 63%-მა ტრადიციული ლითონის პლატფორმების ნაცვლად გრანიტის ბაზების გამოყენება დაიწყო. ეს ბუნებრივი ქვა, რომელიც დედამიწის სიღრმეში მაგმის კონდენსაციისგან წარმოიქმნება, თავისი უნიკალური ფიზიკური თვისებების გამო ნახევარგამტარების წარმოების ისტორიას ცვლის:

თერმული ინერციის უპირატესობა: გრანიტის 4.5×10⁻⁶/℃ თერმული გაფართოების კოეფიციენტი უჟანგავი ფოლადის თერმული გაფართოების კოეფიციენტის მხოლოდ 1/5-ს შეადგენს, ხოლო ლითოგრაფიული აპარატის უწყვეტი მუშაობისას შენარჩუნებულია ±0.001 მმ განზომილებიანი სტაბილურობა.

ვიბრაციის დემპინგის მახასიათებლები: შიდა ხახუნის კოეფიციენტი 15-ჯერ მეტია, ვიდრე თუჯის, რაც ეფექტურად შთანთქავს აღჭურვილობის მიკროვიბრაციას.

ნულოვანი მაგნიტიზაციის ბუნება: ლაზერული გაზომვისას მაგნიტური შეცდომის სრულად აღმოფხვრა

1.2 მეტამორფოზის გზა ჩემიდან ფაბრიკამდე
შანდონგში ZHHIMG-ის ინტელექტუალური საწარმოო ბაზის მაგალითის გათვალისწინებით, ნედლი გრანიტის ნაჭერს შემდეგი დამუშავება სჭირდება:

ულტრაზუსტი დამუშავება: ხუთღერძიანი შეერთების დამუშავების ცენტრი 200 საათის განმავლობაში უწყვეტი დაფქვისთვის, ზედაპირის უხეშობა Ra0.008μm-მდე

ხელოვნური დაბერების დამუშავება: 48 საათიანი ბუნებრივი სტრესის გათავისუფლება მუდმივი ტემპერატურისა და ტენიანობის სახელოსნოში, რაც აუმჯობესებს პროდუქტის სტაბილურობას 40%-ით.
მეორეც, ნახევარგამტარების წარმოების ექვსი ზუსტი პრობლემის „კლდის გადაჭრა“ ამოხსნა.
2.1 ვაფლის ფრაგმენტაციის სიჩქარის შემცირების სქემა

შემთხვევის დემონსტრირება: გერმანიაში ჩიპების ჩამოსხმის ქარხნის მიერ ჩვენი გაზის მცურავი გრანიტის პლატფორმის გამოყენების შემდეგ:

ვაფლის დიამეტრი	ჩიპის კურსის შემცირება	სიბრტყის გაუმჯობესება
12 ინჩი	67%	≤0.001 მმ
18 ინჩი	82%	≤0.0005 მმ

2.2 ლითოგრაფიული გასწორების სიზუსტის გარღვევის სქემა

ტემპერატურის კომპენსაციის სისტემა: ჩაშენებული კერამიკული სენსორი რეალურ დროში აკონტროლებს ფორმის ცვლადს და ავტომატურად არეგულირებს პლატფორმის დახრილობას
გაზომილი მონაცემები: 28℃±5℃ ტემპერატურის რყევისას, ჩასმის სიზუსტე 0.12μm-ზე ნაკლებია.