გრანიტის ზუსტი პლატფორმების სიბრტყის გამოვლენის მეთოდები.

ზუსტი წარმოებისა და სამეცნიერო კვლევის სფეროებში, გრანიტის ზუსტი პლატფორმების სიბრტყე აღჭურვილობის სიზუსტის უზრუნველყოფის ძირითადი მაჩვენებელია. ქვემოთ მოცემულია რამდენიმე ძირითადი აღმოჩენის მეთოდისა და მათი ექსპლუატაციის პროცედურების დეტალური შესავალი.
I. ლაზერული ინტერფერომეტრის დეტექტირების მეთოდი
ლაზერული ინტერფერომეტრი მაღალი სიზუსტის სიბრტყის აღმოჩენის სასურველი ინსტრუმენტია. მაგალითად, ავიღოთ ZYGO GPI XP ლაზერული ინტერფერომეტრი, რომლის გარჩევადობამ შეიძლება 0.1 ნმ-ს მიაღწიოს. აღმოჩენის ჩატარებისას, ჯერ ინტერფერომეტრის სინათლის წყარო პლატფორმასთან გაასწორეთ და პლატფორმის ზედაპირი 50 მმ × 50 მმ ბადისებრ არეები გახადეთ. შემდგომში, ინტერფერენციის ფრთის მონაცემები წერტილ-წერტილად შეგროვდა და მონაცემები მოერგო და გაანალიზდა ზერნიკეს პოლინომის გამოყენებით სიბრტყის შეცდომის მისაღებად. ეს მეთოდი გამოიყენება მაღალი სიზუსტის პლატფორმებზე და შეუძლია ≤0.5μm/m² სიბრტყის შეცდომების აღმოჩენა. ის ხშირად გამოიყენება ფოტოლიტოგრაფიული აპარატებისა და მაღალი დონის სამკოორდინატული საზომი აპარატების პლატფორმების აღმოჩენაში.
II. ელექტრონული დონის მასივის მეთოდი
ელექტრონული დონის მასივის დეტექტირება მარტივი და მაღალეფექტურია. TESA A2 ელექტრონული დონე (0.01μm/m გარჩევადობით) შეირჩა და განლაგდა 9×9 მასივში პლატფორმის X/Y ღერძის მიმართულებით. თითოეული დონის დახრილობის მონაცემების სინქრონული შეგროვებით და შემდეგ უმცირესი კვადრატების მეთოდის გამოყენებით გამოთვლისთვის, შესაძლებელია სიბრტყის მნიშვნელობის ზუსტად მიღება. ამ მეთოდით შესაძლებელია პლატფორმის ადგილობრივი ჩაზნექილობისა და ამოზნექილობის პირობების ეფექტურად იდენტიფიცირება. მაგალითად, ასევე შესაძლებელია 0.2μm რყევის აღმოჩენა 50 მმ დიაპაზონში, რაც შესაფერისია მასობრივი წარმოების სწრაფი დეტექტირებისთვის.
III. ოპტიკური ბრტყელი კრისტალური მეთოდი
ოპტიკური ბრტყელი კრისტალის მეთოდი შესაფერისია მცირე ფართობის პლატფორმების აღმოსაჩენად. ოპტიკური ბრტყელი კრისტალი მჭიდროდ მიამაგრეთ პლატფორმაზე შესამოწმებელ ზედაპირზე და დააკვირდით მათ შორის წარმოქმნილ ინტერფერენციულ ზოლებს მონოქრომატული სინათლის წყაროს (მაგალითად, ნატრიუმის ნათურის) განათების ქვეშ. თუ ზოლები პარალელური სწორი ზოლებია, ეს კარგ სიბრტყეზე მიუთითებს. თუ მოხრილი ზოლები გამოჩნდება, გამოთვალეთ სიბრტყის შეცდომა ზოლის გამრუდების ხარისხის მიხედვით. თითოეული მოხრილი ზოლი წარმოადგენს 0.316 μm სიმაღლის სხვაობას და სიბრტყის მონაცემების მიღება შესაძლებელია მარტივი კონვერტაციით.
ოთხი. სამკოორდინაციიანი საზომი მანქანის შემოწმების მეთოდი
სამკოორდინაციულ საზომ მანქანას შეუძლია მაღალი სიზუსტის გაზომვების მიღწევა სამგანზომილებიან სივრცეში. მოათავსეთ გრანიტის პლატფორმა საზომი მანქანის სამუშაო მაგიდაზე და გამოიყენეთ ზონდი პლატფორმის ზედაპირზე არსებული მრავალი საზომი წერტილიდან მონაცემების ერთგვაროვნად შესაგროვებლად. საზომი მანქანის სისტემა ამუშავებს და აანალიზებს ამ მონაცემებს პლატფორმის სიბრტყის ანგარიშის გენერირებისთვის. ამ მეთოდით შესაძლებელია არა მხოლოდ სიბრტყის აღმოჩენა, არამედ პლატფორმის სხვა გეომეტრიული პარამეტრების ერთდროულად მიღება და შესაფერისია დიდი გრანიტის პლატფორმების ყოვლისმომცველი აღმოჩენისთვის.
ამ აღმოჩენის მეთოდების დაუფლება დაგეხმარებათ გრანიტის ზუსტი პლატფორმის სიბრტყის ზუსტად შეფასებაში და ზუსტი აღჭურვილობის სტაბილური მუშაობის საიმედო გარანტიის უზრუნველყოფაში.