ულტრაზუსტი სპორტული მოდულის გრანიტის ზუსტი ფუძის გარემოსთან ადაპტაციის სახელმძღვანელო.

მაღალი დონის წარმოებისა და უახლესი სამეცნიერო კვლევების სფეროში, ჰაერის ნაკადის ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდული თავისი შესანიშნავი სიზუსტით მუშაობისა და გაზომვის ძირითად აღჭურვილობად იქცა. გრანიტის სიზუსტის ბაზას, როგორც საყრდენ ბირთვს, სამუშაო გარემოსადმი მკაცრი მოთხოვნები აქვს და შესაბამისი გარემო პირობები მისი სტაბილური მუშაობისა და საუკეთესო ეფექტის უზრუნველყოფის საფუძველია.

პირველი, ტემპერატურის კონტროლი: ზუსტი „სტაბილიზატორი“
მიუხედავად იმისა, რომ გრანიტი ცნობილია თავისი სტაბილურობით, ის სრულად არ არის დაზღვეული ტემპერატურის ცვლილებების მიმართ. მიუხედავად იმისა, რომ მისი თერმული გაფართოების კოეფიციენტი დაბალია, ზოგადად 5-7 ×10⁻⁶/℃, ულტრაზუსტი მოძრაობის კონტროლის სცენარებში, ტემპერატურის მცირე რყევებმა მაინც შეიძლება გამოიწვიოს განზომილებიანი ცვლილებები და გავლენა მოახდინოს მოდულის სიზუსტეზე. ნახევარგამტარული ჩიპების წარმოების სახელოსნოში ლითოგრაფიის პროცესი მოითხოვს დანამის დონის პოზიციონირების სიზუსტეს და გარემოს ტემპერატურა მერყეობს 1°C-ით, ხოლო გრანიტის ფუძემ, რომლის გვერდის სიგრძე 1 მეტრია, შეიძლება გამოიწვიოს 5-7 მიკრონის წრფივი გაფართოება ან შეკუმშვა. ეს მცირე ცვლილება გადაეცემა ჰაერის ტივტივის ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდულს, რაც საკმარისია ჩიპის ლითოგრაფიის ნიმუშის გადახრისთვის და მნიშვნელოვნად შეამციროს მოსავლიანობა. ამიტომ, ჰაერში მცურავი ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდულის გრანიტის ზუსტი ბაზით აღჭურვილი, იდეალური სამუშაო გარემოს ტემპერატურა უნდა კონტროლდებოდეს 20°C ±1°C-ზე, მაღალი სიზუსტის მუდმივი ტემპერატურის მოწყობილობების დახმარებით, როგორიცაა მუდმივი ტემპერატურისა და ტენიანობის კონდიცირების სისტემა, გარემოს ტემპერატურის უწყვეტი მონიტორინგი და რეგულირება, რათა უზრუნველყოფილი იყოს ტემპერატურის რყევები ძალიან მცირე დიაპაზონში, ბაზის ზომის სტაბილურობის შენარჩუნება და მოდულის მაღალი სიზუსტის მუშაობა.
მეორეც, ტენიანობის მართვა: ტენიანობისგან დამცავი „ქვის“ გასაღები
ტენიანობა კიდევ ერთი მნიშვნელოვანი ფაქტორია, რომელიც გავლენას ახდენს ზუსტი გრანიტის ფუძის მუშაობაზე. მაღალი ტენიანობის გარემოში გრანიტი ადვილად შთანთქავს წყლის ორთქლს, რამაც შეიძლება გამოიწვიოს ზედაპირზე კონდენსაცია, რაც არა მხოლოდ გავლენას ახდენს გრანიტისა და ჰაერის ტივტივის ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდულის შეერთების სტაბილურობაზე, არამედ შეიძლება გამოიწვიოს ზედაპირის ეროზია და შეამციროს სიპრიალისა და სიზუსტის ხარისხი გრძელვადიან პერსპექტივაში. ოპტიკური ლინზების დაფქვის სახელოსნოში, თუ ტენიანობა დიდი ხნის განმავლობაში 60%-ზე მაღალია, გრანიტის ფუძის ზედაპირზე ადსორბირებული წყლის ორთქლი ხელს შეუშლის გაზის ტივტივის სლაიდერის მოძრაობას, რის შედეგადაც მცირდება ლინზის დაფქვის სიზუსტე და ზედაპირი დეფექტდება. ამიტომ, სამუშაო გარემოს ფარდობითი ტენიანობა მკაცრად უნდა იყოს კონტროლირებადი 40%-60%-იან RH-ს შორის, რომლის მონიტორინგი და რეგულირება შესაძლებელია რეალურ დროში ჰაერის გამშრობების, ტენიანობის სენსორების და სხვა აღჭურვილობის დაყენებით, რათა თავიდან იქნას აცილებული გრანიტის ფუძის დაზიანება მაღალი ტენიანობის გამო და უზრუნველყოფილი იყოს ჰაერის ტივტივის ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდულის შეუფერხებელი მუშაობა.
მესამე, სისუფთავის გარანტია: სიზუსტის „მცველი“
ჰაერის ფლოტაციის ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდულის გრანიტის ფუძისთვის მტვრის ნაწილაკების მიერ გამოწვეული ზიანის არასაკმარისად შეფასება შეუძლებელია. როგორც კი პაწაწინა ნაწილაკები გაზის ტივტივის სლაიდერსა და გრანიტის ფუძეს შორის გაზის აპკის ნაპრალში მოხვდებიან, მათ შეუძლიათ გაზის აპკის ერთგვაროვნების დარღვევა, ხახუნის გაზრდა და ფუძის ზედაპირის დაკაწრვაც კი, რაც მოძრაობის სიზუსტის შემცირებას გამოიწვევს. აერონავტიკის ნაწილების ულტრაზუსტი დამუშავების სახელოსნოში, თუ ჰაერში არსებული მტვრის ნაწილაკები გრანიტის ფუძეს დაეცემა, დამუშავების ხელსაწყოს მოძრაობის ტრაექტორია შეიძლება გადახრილი იყოს, რაც გავლენას მოახდენს ნაწილების დამუშავების სიზუსტეზე. ამიტომ, სამუშაო ადგილი უნდა იყოს მაღალი სისუფთავის, 10,000 ან უფრო მაღალი სისუფთავის სტანდარტის მიღწევის გზით, ჰაერის გამწმენდი მოწყობილობების დამონტაჟების გზით, როგორიცაა მაღალი ეფექტურობის ჰაერის ფილტრები (HEPA), რომლებიც ფილტრავენ ჰაერში არსებულ მტვრის ნაწილაკებს. ამავდროულად, პერსონალმა უნდა ატაროს მტვრისგან თავისუფალი ტანსაცმელი, ფეხსაცმლის გადასაფარებლები და ა.შ., რათა შემცირდეს ადამიანის მიერ მოტანილი მტვერი. გრანიტის ფუძისა და ჰაერის ტივტივის ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდულის მაღალი სიზუსტის სამუშაო გარემოს შენარჩუნება.

მეოთხე, ვიბრაციის იზოლაცია: „შოკის ბალიშის“ გლუვი მუშაობა
გარე ვიბრაცია ჰაერის ტივტივის ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდულის სიზუსტის მტერია. მიუხედავად იმისა, რომ ზუსტი გრანიტის ფუძეს აქვს ვიბრაციის შესუსტების გარკვეული უნარი, მაღალი სიმტკიცის ვიბრაციამ მაინც შეიძლება გადააჭარბოს მის ბუფერულ ზღვარს. ქარხნის გარშემო მოძრაობისა და დიდი მექანიკური აღჭურვილობის მუშაობის შედეგად წარმოქმნილი ვიბრაცია გრანიტის ბაზაზე მიწის გავლით გადაეცემა, რაც ხელს უშლის ჰაერის ტივტივის ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდულის მოძრაობის სიზუსტეს. მაღალი დონის CMM-ში ვიბრაციამ შეიძლება გამოიწვიოს საზომ ზონდსა და გასაზომ სამუშაო ნაწილს შორის კონტაქტის არასტაბილურობა, რაც გამოიწვევს გაზომვის მონაცემების გადახრას. ამ პრობლემის გადასაჭრელად აუცილებელია ვიბრაციის იზოლაციის ეფექტური ზომების მიღება, როგორიცაა ვიბრაციის იზოლაციის ბალიშების განთავსება აღჭურვილობის დამონტაჟების ადგილას, ვიბრაციის იზოლაციის საფუძვლის აგება ან აქტიური ვიბრაციის იზოლაციის სისტემის გამოყენება გარე ვიბრაციის აქტიურად კომპენსაციისთვის და გრანიტის ზუსტი ფუძისა და ჰაერის ტივტივის ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდულისთვის მშვიდი და სტაბილური სამუშაო გარემოს შექმნა.
მხოლოდ ტემპერატურის, ტენიანობის, სისუფთავისა და ვიბრაციის კონტროლის გარემოსდაცვითი მოთხოვნების სრულად დაკმაყოფილებით, ჰაერის ტივტივის ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდულის გრანიტის ზუსტი ბაზა სრულად გამოავლენს თავის უპირატესობებს, უზრუნველყოფს საიმედო გარანტიას სხვადასხვა სფეროში ულტრაზუსტი ოპერაციებისთვის და ეხმარება ინდუსტრიას უფრო მაღალი სიზუსტის წარმოებისა და სამეცნიერო კვლევის დონისკენ სვლაში.