ნახევარგამტარების წარმოების სახელოსნოში ჩიპების წარმოების პროცესის მოთხოვნები გარემო პირობებისა და აღჭურვილობის სიზუსტის მიმართ უკიდურესია და ნებისმიერმა უმნიშვნელო გადახრამ შეიძლება გამოიწვიოს ჩიპების მოსავლიანობის მნიშვნელოვანი შემცირება. XYZT-ის ზუსტი პორტალური მოძრაობის პლატფორმა ეყრდნობა გრანიტის კომპონენტებს, რათა პლატფორმის სხვა ნაწილებთან თანამშრომლობით შეიქმნას მყარი საფუძველი ნანომასშტაბიანი სიზუსტის მისაღწევად.
შესანიშნავი ვიბრაციის ბლოკირების თვისებები
ნახევარგამტარების წარმოების სახელოსნოში, პერიფერიული აღჭურვილობისა და პერსონალის გადაადგილებამ შეიძლება გამოიწვიოს ვიბრაცია. გრანიტის კომპონენტების შიდა სტრუქტურა მკვრივი და ერთგვაროვანია, ბუნებრივი მაღალი დემპფერაციის მახასიათებლებით, ეფექტური ვიბრაციული „ბარიერის“ მსგავსად. როდესაც გარე ვიბრაცია გადაეცემა XYZT პლატფორმას, გრანიტის კომპონენტს შეუძლია ეფექტურად შეასუსტოს ვიბრაციის ენერგიის 80%-ზე მეტი და შეამციროს ვიბრაციის ჩარევა პლატფორმის მოძრაობის სიზუსტეზე. ამავდროულად, პლატფორმა აღჭურვილია მაღალი სიზუსტის ჰაერის ნაკადის გამტარი სისტემით, რომელიც მუშაობს გრანიტის კომპონენტებთან ერთად. ჰაერის ნაკადის გამტარი იყენებს მაღალი წნევის გაზით წარმოქმნილ სტაბილურ გაზის ფენას პლატფორმის მოძრავი ნაწილების უკონტაქტო შეჩერების მოძრაობის რეალიზაციისა და მექანიკური ხახუნით გამოწვეული მცირე ვიბრაციის შესამცირებლად. ერთად, ეს ორი უზრუნველყოფს პლატფორმის პოზიციონირების სიზუსტის შენარჩუნებას ნანომეტრულ დონეზე ისეთ ძირითად პროცესებში, როგორიცაა ჩიპური ლითოგრაფია და გრავირება, და თავიდან აიცილოს ვიბრაციით გამოწვეული ჩიპური წრედის ნიმუშების გადახრა.
შესანიშნავი თერმული სტაბილურობა
სახელოსნოში ტემპერატურისა და ტენიანობის რყევას დიდი გავლენა აქვს ჩიპების წარმოების აღჭურვილობის სიზუსტეზე. გრანიტის თერმული გაფართოების კოეფიციენტი ძალიან დაბალია, ზოგადად 5-7 × 10⁻⁶/℃, ზომა თითქმის უცვლელია ტემპერატურის ცვლილებისას. მაშინაც კი, თუ სახელოსნოში დღე-ღამის ტემპერატურული სხვაობა ან აღჭურვილობის სითბოს გამომუშავება იწვევს გარემოს ტემპერატურის რყევას, გრანიტის კომპონენტები შეიძლება დარჩეს სტაბილური, რათა თავიდან იქნას აცილებული პლატფორმის დეფორმაცია თერმული გაფართოებისა და შეკუმშვის გამო. ამავდროულად, პლატფორმასთან აღჭურვილი ინტელექტუალური ტემპერატურის კონტროლის სისტემა რეალურ დროში აკონტროლებს გარემოს ტემპერატურას, ავტომატურად არეგულირებს კონდიცირებისა და სითბოს გაფრქვევის აღჭურვილობას და ინარჩუნებს სახელოსნოს ტემპერატურას 20°C ± 1°C-ზე. გრანიტის თერმული სტაბილურობის უპირატესობებთან ერთად, უზრუნველყოფს, რომ პლატფორმა ხანგრძლივი მუშაობისას, თითოეული ღერძის მოძრაობის სიზუსტე ყოველთვის აკმაყოფილებს ჩიპების წარმოების ნანომეტრიული სიზუსტის სტანდარტებს, რათა უზრუნველყოფილი იყოს ჩიპების ლითოგრაფიის ნიმუშის ზომის სიზუსტე, გრავირების სიღრმე კი ერთგვაროვანი.
დააკმაყოფილეთ სუფთა გარემოს საჭიროებები
ნახევარგამტარების მწარმოებელ სახელოსნოში უნდა შენარჩუნდეს მაღალი ხარისხის სისუფთავე, რათა თავიდან იქნას აცილებული ჩიპის მტვრის ნაწილაკების დაბინძურება. გრანიტის მასალა თავად არ წარმოქმნის მტვერს და ზედაპირი გლუვია, მტვრის შეწოვა ადვილი არ არის. პლატფორმა, როგორც მთლიანობა, სრულად დახურული ან ნახევრად დახურული სტრუქტურის დიზაინს იყენებს გარე მტვრის შეღწევის შესამცირებლად. შიდა ჰაერის ცირკულაციის სისტემა დაკავშირებულია სახელოსნოს სუფთა კონდიცირების სისტემასთან, რათა უზრუნველყოს, რომ შიდა ჰაერის სისუფთავე მიაღწიოს ჩიპების წარმოებისთვის საჭირო დონეს. ამ სუფთა გარემოში გრანიტის კომპონენტები არ იმოქმედებს მტვრის ეროზიის გამო მუშაობაზე და პლატფორმის ისეთი ძირითადი კომპონენტები, როგორიცაა მაღალი სიზუსტის სენსორები და ძრავები, ასევე შეუძლიათ სტაბილურად იმუშაონ, რაც უზრუნველყოფს ჩიპების წარმოების უწყვეტ და საიმედო ნანომასშტაბიან სიზუსტეს და ეხმარება ნახევარგამტარების ინდუსტრიას უფრო მაღალ პროცესებზე გადასვლაში.
გამოქვეყნების დრო: 2025 წლის 14 აპრილი