გრანიტის პლატფორმა, რომელიც განკუთვნილია სუფთა ოთახებისთვის: ლითონის იონების ნულოვანი გამოყოფა, იდეალური არჩევანია ვაფლის შემოწმების აღჭურვილობისთვის.

ნახევარგამტარული ვაფლების შემოწმების სფეროში, სუფთა ოთახის გარემოს სისუფთავე პირდაპირ კავშირშია პროდუქტის მოსავლიანობასთან. ჩიპების წარმოების პროცესების სიზუსტის გაუმჯობესებასთან ერთად, დეტექტორის აღჭურვილობის სატარებელი პლატფორმების მოთხოვნები სულ უფრო მკაცრი ხდება. გრანიტის პლატფორმებმა, ლითონის იონების ნულოვანი გამოყოფისა და ნაწილაკების დაბალი დაბინძურების მახასიათებლებით, გადააჭარბა ტრადიციულ უჟანგავი ფოლადის მასალებს და ვაფლების შემოწმების აღჭურვილობისთვის სასურველ გადაწყვეტად იქცა.

გრანიტი ბუნებრივი მაგმული ქანია, რომელიც ძირითადად არამეტალური მინერალებისგან, როგორიცაა კვარცი, ფელდშპატი და ქარსი, შედგება. ეს მახასიათებელი მას ლითონის იონების ნულოვანი გამოყოფის უპირატესობას ანიჭებს. ამის საპირისპიროდ, უჟანგავი ფოლადი, როგორც რკინის, ქრომის და ნიკელის ლითონების შენადნობი, მიდრეკილია ელექტროქიმიური კოროზიისკენ მის ზედაპირზე წყლის ორთქლისა და მჟავე ან ტუტე აირების ეროზიის გამო სუფთა ოთახის გარემოში, რაც იწვევს ლითონის იონების, როგორიცაა Fe²⁺ და Cr³⁺, დალექვას. მას შემდეგ, რაც ეს პაწაწინა იონები მიემაგრება ვაფლის ზედაპირს, ისინი ცვლიან ნახევარგამტარული მასალის ელექტრულ თვისებებს შემდგომ პროცესებში, როგორიცაა ფოტოლითოგრაფია და გრავირება, იწვევენ ტრანზისტორის ზღურბლის ძაბვის დრიფტს და წრედში მოკლე ჩართვასაც კი. პროფესიული ინსტიტუტების ტესტის მონაცემები აჩვენებს, რომ მას შემდეგ, რაც გრანიტის პლატფორმა 1000 საათის განმავლობაში მუდმივად იმყოფებოდა სიმულირებული სუფთა ოთახის ტემპერატურისა და ტენიანობის გარემოში (23±0.5℃, 45%±5% RH), ლითონის იონების გამოყოფა უფრო დაბალი იყო, ვიდრე აღმოჩენის ზღვარი (< 0.1ppb). უჟანგავი ფოლადის პლატფორმების გამოყენებისას ლითონის იონებით დაბინძურებით გამოწვეული ვაფლის დეფექტების მაჩვენებელი შეიძლება 15%-დან 20%-მდე იყოს.

ნაწილაკებით დაბინძურების კონტროლის თვალსაზრისით, გრანიტის პლატფორმებიც განსაკუთრებულად კარგად მუშაობენ. სუფთა ოთახებს ჰაერში შეწონილი ნაწილაკების კონცენტრაციის უკიდურესად მაღალი მოთხოვნები აქვთ. მაგალითად, ISO 1 კლასის სუფთა ოთახებში, კუბურ მეტრზე დაშვებული 0.1 მკმ ნაწილაკების რაოდენობა არ აღემატება 10-ს. მაშინაც კი, თუ უჟანგავი ფოლადის პლატფორმა გაპრიალებულია, მას მაინც შეუძლია წარმოქმნას ლითონის ნამსხვრევები ან ოქსიდის ქერცლის აშრევება გარე ძალების, როგორიცაა აღჭურვილობის ვიბრაცია და პერსონალის მუშაობა, გამო, რამაც შეიძლება ხელი შეუშალოს დეტექციის ოპტიკურ გზას ან დაკაწროს ვაფლის ზედაპირი. გრანიტის პლატფორმები, მათი მკვრივი მინერალური სტრუქტურით (სიმკვრივე ≥2.7 გ/სმ³) და მაღალი სიმტკიცით (6-7 მოჰსის შკალით), არ არის მიდრეკილი ცვეთის ან დაზიანებისკენ ხანგრძლივი გამოყენების დროს. გაზომვები აჩვენებს, რომ მათ შეუძლიათ შეამცირონ შეწონილი ნაწილაკების კონცენტრაცია დეტექციის აღჭურვილობის ზონის ჰაერში 40%-ზე მეტით უჟანგავი ფოლადის პლატფორმებთან შედარებით, ეფექტურად ინარჩუნებენ სუფთა ოთახის ხარისხის სტანდარტებს.

სუფთა მახასიათებლების გარდა, გრანიტის პლატფორმების ყოვლისმომცველი მუშაობა ასევე გაცილებით აღემატება უჟანგავი ფოლადისას. თერმული სტაბილურობის თვალსაზრისით, მისი თერმული გაფართოების კოეფიციენტი მხოლოდ (4-8) ×10⁻⁶/℃-ია, რაც უჟანგავი ფოლადის კოეფიციენტის ნახევარზე ნაკლებია (დაახლოებით 17×10⁻⁶/℃), რაც უკეთესად ინარჩუნებს დეტექტორის აღჭურვილობის პოზიციონირების სიზუსტეს სუფთა ოთახში ტემპერატურის ცვალებადობისას. მაღალი დემპინგის მახასიათებელი (დემპინგის კოეფიციენტი > 0.05) სწრაფად ამცირებს აღჭურვილობის ვიბრაციას და ხელს უშლის დეტექტორის ზონდის რხევას. მისი ბუნებრივი კოროზიისადმი მდგრადობა საშუალებას აძლევს მას დარჩეს სტაბილური ფოტორეზისტული გამხსნელების, გრავირების აირების და სხვა ქიმიკატების ზემოქმედების დროსაც კი, დამატებითი საფარის დაცვის საჭიროების გარეშე.

ამჟამად, გრანიტის პლატფორმები ფართოდ გამოიყენება ვაფლის წარმოების მოწინავე ქარხნებში. მონაცემები აჩვენებს, რომ გრანიტის პლატფორმის დანერგვის შემდეგ, ვაფლის ზედაპირის ნაწილაკების აღმოჩენის არასწორი შეფასების მაჩვენებელი 60%-ით შემცირდა, აღჭურვილობის კალიბრაციის ციკლი სამჯერ გაგრძელდა და წარმოების საერთო ღირებულება 25%-ით შემცირდა. ნახევარგამტარული ინდუსტრია უფრო მაღალი სიზუსტისკენ მიისწრაფვის, გრანიტის პლატფორმები, მათი ძირითადი უპირატესობებით, როგორიცაა ლითონის იონების ნულოვანი გამოყოფა და ნაწილაკების დაბალი დაბინძურება, გააგრძელებენ ვაფლის შემოწმების სტაბილური და საიმედო მხარდაჭერის უზრუნველყოფას და ინდუსტრიის პროგრესის მამოძრავებელ მნიშვნელოვან ძალად იქცევა.