ხაზოვანი ძრავა + გრანიტის ბაზა: ვაფლის გადაცემის სისტემის ახალი თაობის ძირითადი საიდუმლო.

ნახევარგამტარების წარმოების ზუსტ ჯაჭვში, ვაფლის გადამცემი სისტემა „ჩიპების წარმოების ხაზის სიცოცხლის ხაზს“ ჰგავს და მისი სტაბილურობა და სიზუსტე პირდაპირ განსაზღვრავს ჩიპების მოსავლიანობის მაჩვენებელს. ვაფლის გადამცემი სისტემების ახალი თაობა რევოლუციურად აერთიანებს ხაზოვან ძრავებს გრანიტის ბაზებთან და გრანიტის მასალების უნიკალური უპირატესობები სწორედ მაღალი ხარისხის ტრანსმისიის განსაბლოკად ძირითადი კოდია.

​
გრანიტის ბაზა: სტაბილური ტრანსმისიისთვის „კლდესავით მყარი საფუძვლის“ აგება
გრანიტი, რომელიც ასობით მილიონი წლის გეოლოგიურ დახვეწას განიცდის, ხასიათდება მკვრივი და ერთგვაროვანი შიდა მინერალური კრისტალიზაციის არსებობით. ეს ბუნებრივი მახასიათებელი მას იდეალურ საბაზისო მასალად აქცევს ვაფლის გადაცემის სისტემებისთვის. ნახევარგამტარული სუფთა ოთახების რთულ გარემოში, გრანიტს, თავისი ულტრადაბალი თერმული გაფართოების კოეფიციენტით (მხოლოდ 5-7 ×10⁻⁶/℃), შეუძლია გაუძლოს აღჭურვილობის მუშაობის დროს წარმოქმნილ სითბოს და გარემოს ტემპერატურის ცვლილებების გავლენას, რაც უზრუნველყოფს ბაზის ზომის სტაბილურობას და თავიდან აიცილებს თერმული დეფორმაციით გამოწვეულ გადაცემის გზის გადახრას. მისი შესანიშნავი ვიბრაციის ჩამხშობი თვისებები სწრაფად შთანთქავს ხაზოვანი ძრავების ჩართვის, გამორთვისა და აჩქარების დროს წარმოქმნილ მექანიკურ ვიბრაციებს, ასევე სახელოსნოში სხვა აღჭურვილობის მუშაობით გამოწვეულ გარე ჩარევებს, რაც უზრუნველყოფს სტაბილურ პლატფორმას ვაფლის გადაცემისთვის „ნულოვანი რხევით“.
ამასობაში, გრანიტის ქიმიური სტაბილურობა უზრუნველყოფს, რომ ის არ კოროდირდება და არ იჟანგება ნახევარგამტარული სახელოსნოების პირობებში, სადაც მჟავა და ტუტე რეაგენტები აქროლადია და საჭიროა მაღალი სისუფთავე, რითაც თავიდან აცილებულია მასალის დაბერების ან დამაბინძურებლების ადსორბციის შედეგად გადაცემის სიზუსტეზე ზემოქმედება. გლუვი და მკვრივი ზედაპირის მახასიათებლები უფრო ეფექტურად ამცირებს მტვრის ადჰეზიას, აკმაყოფილებს სუფთა ოთახების მკაცრ მტვრისგან თავისუფალ სტანდარტებს და აღმოფხვრის ვაფლის დაბინძურების რისკს ძირიდან.
ხაზოვანი ძრავებისა და გრანიტის „ოქროს პარტნიორობის“ ეფექტი
ხაზოვანი ძრავები, მექანიკური ტრანსმისიის კლირენსის არარსებობის, მაღალი აჩქარებისა და მაღალი რეაგირების სიჩქარის მახასიათებლებით, ვაფლის ტრანსმისიას ანიჭებს „სწრაფი, ზუსტი და სტაბილური“ უპირატესობებს. გრანიტის ფუძე მისთვის მყარ და საიმედო საყრდენ პლატფორმას წარმოადგენს. ორივე ერთად მუშაობს მუშაობის ნახტომის მისაღწევად. როდესაც ხაზოვანი ძრავა ვაფლის მატარებელს გრანიტის ფუძეზე ლიანდაგზე ამოძრავებს, ფუძეზე არსებული ძლიერი სიმტკიცე და სტაბილურობა უზრუნველყოფს ძრავის მამოძრავებელი ძალის ეფექტურ გადაცემას, რაც თავიდან აიცილებს ძალის დაკარგვას ან ბაზის დეფორმაციით გამოწვეულ ტრანსმისიის შეფერხებას.
ნანომასშტაბიანი სიზუსტის მოთხოვნით, ხაზოვან ძრავებს შეუძლიათ მიაღწიონ მიკრონულ დონეზე გადაადგილების კონტროლს. გრანიტის ფუძეების მაღალი სიზუსტის დამუშავების მახასიათებლები (±1μm-ის ფარგლებში კონტროლირებადი სიბრტყის შეცდომით) იდეალურად შეესაბამება ხაზოვანი ძრავების ზუსტ კონტროლს, რაც ერთობლივად უზრუნველყოფს, რომ ვაფლის გადაცემის დროს პოზიციონირების შეცდომა იყოს ±5μm-ზე ნაკლები. იქნება ეს სხვადასხვა დამუშავების მოწყობილობას შორის მაღალსიჩქარიანი გადაადგილების პროცესი თუ ვაფლის გადაცემის ზუსტი პარკირების პროცესი, ხაზოვანი ძრავებისა და გრანიტის ფუძეების კომბინაციას შეუძლია უზრუნველყოს „ნულოვანი გადახრა და ნულოვანი რხევა“ ვაფლის გადაცემაში.
ინდუსტრიული პრაქტიკის შემოწმება: ეფექტურობისა და მოსავლიანობის მაჩვენებლის ორმაგი გაუმჯობესება
ვაფლის გადაცემის სისტემის განახლების შემდეგ, წამყვანმა გლობალურმა ნახევარგამტარულმა საწარმომ დანერგა ხაზოვანი ძრავის + გრანიტის ბაზის გადაწყვეტა, რამაც ვაფლის გადაცემის ეფექტურობა 40%-ით გაზარდა, გადაცემის პროცესში ისეთი ხარვეზების, როგორიცაა შეჯახება და ოფსეტი, წარმოქმნის მაჩვენებელი 85%-ით შეამცირა და ჩიპების საერთო მოსავლიანობის მაჩვენებელი 6%-ით გააუმჯობესა. მონაცემების უკან დგას გრანიტის ბაზით უზრუნველყოფილი გადაცემის სტაბილურობის გარანტია და ხაზოვანი ძრავის მაღალსიჩქარიანი და ზუსტი სინერგიული ეფექტი, რაც მნიშვნელოვნად ამცირებს დანაკარგებს და შეცდომებს ვაფლის გადაცემის პროცესში.
მასალის თვისებებიდან დაწყებული ზუსტი წარმოებით დამთავრებული, შესრულების უპირატესობებიდან პრაქტიკულ შემოწმებამდე, ხაზოვანი ძრავებისა და გრანიტის ფუძეთა კომბინაციამ ხელახლა განსაზღვრა ვაფლის გადაცემის სისტემების სტანდარტები. მომავალში, როდესაც ნახევარგამტარული ტექნოლოგია 3 ნმ და 2 ნმ პროცესებისკენ განვითარდება, გრანიტის მასალები აუცილებლად გააგრძელებენ ინდუსტრიის განვითარებას ძლიერ იმპულსს თავიანთი შეუცვლელი უპირატესობებით.