გრანიტის ზუსტი პლატფორმის გაზომვის სიზუსტეზე გარემოს ტემპერატურის რყევის გავლენის ზღურბლის შესწავლა.

ზუსტი გაზომვების სფეროში, გრანიტის ზუსტი პლატფორმა თავისი შესანიშნავი სტაბილურობით, მაღალი სიმტკიცითა და კარგი ცვეთამედეგობით, იდეალური საძირკვლის საყრდენი გახდა მრავალი მაღალი სიზუსტის გაზომვის სამუშაოსთვის. თუმცა, გარემო ფაქტორების ტემპერატურის რყევებს, როგორიცაა სიბნელეში დამალული „ზუსტი მკვლელი“, უმნიშვნელო გავლენა აქვს გრანიტის ზუსტი პლატფორმის გაზომვის სიზუსტეზე. დიდი მნიშვნელობა აქვს გავლენის ზღურის ღრმა შესწავლას გაზომვის სამუშაოების სიზუსტისა და სანდოობის უზრუნველსაყოფად.

მიუხედავად იმისა, რომ გრანიტი ცნობილია თავისი სტაბილურობით, ის არ არის დაზღვეული ტემპერატურის ცვლილებების მიმართ. მისი ძირითადი კომპონენტებია კვარცი, ფელდშპატი და სხვა მინერალები, რომლებიც სხვადასხვა ტემპერატურაზე თერმული გაფართოებისა და შეკუმშვის ფენომენს იწვევენ. როდესაც გარემოს ტემპერატურა მოიმატებს, გრანიტის ზუსტი პლატფორმა თბება და ფართოვდება, ხოლო პლატფორმის ზომა ოდნავ იცვლება. როდესაც ტემპერატურა ეცემა, ის თავდაპირველ მდგომარეობას უბრუნდება. ერთი შეხედვით მცირე ზომის ცვლილებები შეიძლება გადიდდეს ძირითად ფაქტორებად, რომლებიც გავლენას ახდენენ გაზომვის შედეგებზე ზუსტი გაზომვის სცენარებში.

გრანიტის პლატფორმის შესატყვისი საერთო კოორდინატების საზომი ინსტრუმენტის მაგალითის სახით, მაღალი სიზუსტის გაზომვის ამოცანებში, გაზომვის სიზუსტის მოთხოვნები ხშირად აღწევს მიკრონის დონეს ან კიდევ უფრო მაღალს. ვარაუდობენ, რომ 20℃ სტანდარტული ტემპერატურის დროს პლატფორმის სხვადასხვა განზომილებიანი პარამეტრი იდეალურ მდგომარეობაშია და ზუსტი მონაცემების მიღება შესაძლებელია სამუშაო ნაწილის გაზომვით. როდესაც გარემოს ტემპერატურა მერყეობს, სიტუაცია სრულიად განსხვავებულია. ექსპერიმენტული მონაცემების დიდი რაოდენობით სტატისტიკისა და თეორიული ანალიზის შემდეგ, ნორმალურ პირობებში, გარემოს ტემპერატურის 1℃ რყევის შემთხვევაში, გრანიტის ზუსტი პლატფორმის ხაზოვანი გაფართოება ან შეკუმშვა დაახლოებით 5-7 × 10⁻⁶/℃-ია. ეს ნიშნავს, რომ 1 მეტრის სიგრძის გრანიტის პლატფორმისთვის, გვერდის სიგრძე შეიძლება შეიცვალოს 5-7 მიკრონით, თუ ტემპერატურა 1°C-ით შეიცვლება. ზუსტი გაზომვებისას, ზომის ასეთი ცვლილება საკმარისია იმისათვის, რომ გამოიწვიოს გაზომვის შეცდომები დასაშვებ დიაპაზონს მიღმა.
სხვადასხვა სიზუსტის დონის მიხედვით მოთხოვნილი გაზომვის სამუშაოებისთვის, ტემპერატურის რყევის გავლენის ზღვარიც განსხვავებულია. ჩვეულებრივი სიზუსტის გაზომვისას, როგორიცაა მექანიკური ნაწილების ზომის გაზომვა, თუ დასაშვები გაზომვის შეცდომა ±20 მიკრონის ფარგლებშია, ზემოთ მოცემული გაფართოების კოეფიციენტის გაანგარიშების მიხედვით, ტემპერატურის რყევა უნდა კონტროლდებოდეს ± 3-4 ℃ დიაპაზონში, რათა პლატფორმის ზომის ცვლილებით გამოწვეული გაზომვის შეცდომა მისაღებ დონეზე გაკონტროლდეს. მაღალი სიზუსტის მოთხოვნების მქონე ადგილებში, როგორიცაა ლითოგრაფიული პროცესის გაზომვა ნახევარგამტარული ჩიპების წარმოებაში, შეცდომა დასაშვებია ±1 მიკრონის ფარგლებში და ტემპერატურის რყევა მკაცრად უნდა კონტროლდებოდეს ± 0.1-0.2 °C დიაპაზონში. როგორც კი ტემპერატურის რყევა გადააჭარბებს ამ ზღვარს, გრანიტის პლატფორმის თერმული გაფართოება და შეკუმშვა შეიძლება გამოიწვიოს გაზომვის შედეგებში გადახრები, რაც გავლენას მოახდენს ჩიპების წარმოების მოსავლიანობაზე.
გრანიტის ზუსტი პლატფორმის გაზომვის სიზუსტეზე გარემოს ტემპერატურის რყევის გავლენის გასაკონტროლებლად, პრაქტიკულ სამუშაოებში ხშირად გამოიყენება მრავალი ზომა. მაგალითად, გაზომვის გარემოში დამონტაჟებულია მაღალი სიზუსტის მუდმივი ტემპერატურის მოწყობილობა, რათა გაკონტროლდეს ტემპერატურის რყევა ძალიან მცირე დიაპაზონში; ტემპერატურის კომპენსაცია ხორციელდება გაზომვის მონაცემებზე და გაზომვის შედეგები კორექტირდება პროგრამული ალგორითმით პლატფორმის თერმული გაფართოების კოეფიციენტისა და რეალურ დროში ტემპერატურის ცვლილებების მიხედვით. თუმცა, რა ზომებიც არ უნდა იქნას მიღებული, გრანიტის ზუსტი პლატფორმის გაზომვის სიზუსტეზე გარემოს ტემპერატურის რყევების გავლენის ზუსტი გააზრება ზუსტი და საიმედო გაზომვის სამუშაოს უზრუნველყოფის წინაპირობაა.