გრანიტის ფუძეზე დაფუძნებული ერთღერძიანი ჰაერის ტივტივის ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდულის გამოყენების სფერო.

ნახევარგამტარული წარმოება: ჩიპის წარმოების პროცესში, ფოტოლიტოგრაფიის პროცესი საჭიროებს წრედის ნიმუშის ზუსტად გადატანას ვაფლზე. ერთღერძიანი ჰაერით მცურავი ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდულის გრანიტის ბაზას შეუძლია უზრუნველყოს მაღალი სიზუსტის პოზიციონირება და სტაბილური საყრდენი ლითოგრაფიულ აღჭურვილობაში ვაფლის მაგიდისთვის. მაგალითად, ASML და სხვა საერთაშორისოდ აღიარებული ლითოგრაფიული მანქანების მწარმოებლები იყენებენ გრანიტის ბაზაზე დაფუძნებულ ჰაერით მცურავი მოძრაობის მოდულებს თავიანთ მაღალი დონის აღჭურვილობაში, რომლებსაც შეუძლიათ ვაფლის პოზიციონირების სიზუსტის ნანომეტრულ დონეზე კონტროლი, რათა უზრუნველყონ ლითოგრაფიული ნიმუშის სიზუსტე, რითაც გაუმჯობესდება ჩიპის ინტეგრაცია და მუშაობა.
ზუსტი გაზომვის ველი: CMM არის ზუსტი გაზომვის მოწყობილობა, რომელიც ფართოდ გამოიყენება სამრეწველო წარმოებაში და გამოიყენება სამუშაო ნაწილის ზომის, ფორმისა და პოზიციის სიზუსტის გასაზომად. გრანიტის ბაზაზე არსებული ერთღერძიანი ჰაერის ტივტივის ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდული შეიძლება გამოყენებულ იქნას CMM-ის მოძრაობის პლატფორმად, რომელსაც შეუძლია მაღალი სიზუსტის ხაზოვანი მოძრაობის განხორციელება და საზომი ზონდის სტაბილური მოძრაობის ტრაექტორიის უზრუნველყოფა. მაგალითად, Hexagon-ის მაღალი დონის CMM იყენებს ამ კომბინაციას დიდი და რთული ნაწილების გასაზომად მიკრონის დონემდე გაზომვის სიზუსტით, რაც უზრუნველყოფს ნაწილების ხარისხის კონტროლის ძლიერ გარანტიას საავტომობილო, აერონავტიკულ და სხვა ინდუსტრიებში.
აერონავტიკის სფერო: აერონავტიკის ნაწილების დამუშავებისა და ტესტირებისას საჭიროა მაღალი სიზუსტე. მაგალითად, თვითმფრინავის ძრავის პირების დამუშავებისას საჭიროა ხელსაწყოს მოძრაობის ტრაექტორიის ზუსტი კონტროლი პირების პროფილის სიზუსტის უზრუნველსაყოფად. ერთღერძიანი ჰაერის მცურავი ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდულის გრანიტის ბაზა შეიძლება გამოყენებულ იქნას ხუთღერძიან დამუშავების ცენტრსა და სხვა აღჭურვილობაზე, რათა უზრუნველყოს ხელსაწყოს მაღალი სიზუსტით მოძრაობის კონტროლი და უზრუნველყოს პირების დამუშავების სიზუსტე დიზაინის მოთხოვნებთან შესაბამისობაში. ამავდროულად, აერონავტიკის აწყობის პროცესში, ასევე აუცილებელია მაღალი სიზუსტის საზომი მოწყობილობის გამოყენება ნაწილების აწყობის სიზუსტის დასადგენად. გრანიტის ფუძის ჰაერში მცურავი მოძრაობის მოდული უზრუნველყოფს საზომი მოწყობილობის სტაბილურ საყრდენს და ზუსტ მოძრაობას აწყობის ხარისხის უზრუნველსაყოფად.
ოპტიკური შემოწმების სფერო: ოპტიკური კომპონენტების წარმოებისა და ტესტირების პროცესში აუცილებელია ოპტიკური კომპონენტების მაღალი სიზუსტის პოზიციონირება და გაზომვა. მაგალითად, მაღალი სიზუსტის ოპტიკური კომპონენტების, როგორიცაა სარკეები და ლინზები, წარმოებისას აუცილებელია ინტერფერომეტრების და სხვა მოწყობილობების გამოყენება ზედაპირის ფორმის სიზუსტის დასადგენად. ერთღერძიანი ჰაერში მცურავი ულტრაზუსტი მოძრაობის მოდულის გრანიტის ბაზა შეიძლება გამოყენებულ იქნას ინტერფერომეტრის მოძრაობის პლატფორმად, რომელსაც შეუძლია სუბმიკრონული პოზიციონირების სიზუსტის მიღწევა და ოპტიკური კომპონენტების აღმოსაჩენად ზუსტი მონაცემების მხარდაჭერა. გარდა ამისა, ლაზერული დამუშავების აღჭურვილობაში ასევე აუცილებელია მაღალი სიზუსტის მოძრაობის პლატფორმის გამოყენება ლაზერული სხივის სკანირების ტრაექტორიის გასაკონტროლებლად, ჰაერში მცურავი მოძრაობის მოდულის გრანიტის ბაზას შეუძლია დააკმაყოფილოს ეს მოთხოვნა მაღალი სიზუსტის ლაზერული დამუშავების მისაღწევად.