ზუსტი ჰიდროსტატიკური ჰაერის მცურავი მოძრაობის პლატფორმის „უხილავი ფარი“: გრანიტის ზუსტი ბაზის მკაცრი გარემოსდაცვითი მოთხოვნები.

მაღალი დონის წარმოებისა და უახლესი სამეცნიერო კვლევების სფეროებში, ზუსტი სტატიკური წნევის ჰაერის მცურავი მოძრაობის პლატფორმა წარმოადგენს ულტრაზუსტი მუშაობის მისაღწევად საჭირო აღჭურვილობას. გრანიტის ზუსტი ბაზა პლატფორმის ძირითადი საყრდენი ნაწილია და მისი მუშაობა მჭიდრო კავშირშია სამუშაო გარემოსთან. ამ გარემოსდაცვითი მოთხოვნების გაგება და დაკმაყოფილება არა მხოლოდ უზრუნველყოფს პლატფორმის მაღალი სიზუსტით მუშაობას, არამედ მნიშვნელოვან როლს ასრულებს საწარმოს კონკურენტუნარიანობის გაზრდაში დაკავშირებულ სფეროებში, რაც ქვემოთ დეტალურად არის აღწერილი.

1. ტემპერატურა: ზუსტი კონტროლი განზომილებიანი სტაბილურობის უზრუნველსაყოფად
მიუხედავად იმისა, რომ გრანიტი ცნობილია თავისი სტაბილურობით, მისი თერმული გაფართოების კოეფიციენტი ნულის ტოლი არ არის და ტემპერატურის მცირე ცვლილებებმა მაინც შეიძლება გავლენა მოახდინოს მის განზომილებიან სიზუსტეზე. ზოგადად, გრანიტის თერმული გაფართოების კოეფიციენტია 5-7 ×10⁻⁶/℃. ზუსტი სტატიკური წნევის ჰაერის მცურავი მოძრაობის პლატფორმის გამოყენების სცენარში, ეს მცირე ცვლილება ძლიერდება პლატფორმის მიერ, რამაც შეიძლება გამოიწვიოს მოძრაობის სიზუსტის გადახრა. მაგალითად, ნახევარგამტარული ჩიპების წარმოების პროცესში, ლითოგრაფიის პროცესის პოზიციონირების სიზუსტის მოთხოვნების დასაშვები დონისთვის, გარემოს ტემპერატურის 1°C რყევისას, 1 მეტრიანი გრანიტის ფუძის გვერდის სიგრძემ შეიძლება გამოიწვიოს 5-7 მიკრონი ხაზოვანი გაფართოება ან შეკუმშვა, რაც საკმარისია ჩიპის ლითოგრაფიის ნიმუშის გადახრისთვის, რაც ამცირებს მოსავლიანობას. ამიტომ, გრანიტის ზუსტი ბაზით აღჭურვილი ზუსტი სტატიკური წნევის ჰაერის მცურავი პლატფორმის იდეალური სამუშაო გარემოს ტემპერატურა მკაცრად უნდა იყოს კონტროლირებადი 20°C ±1°C-ზე, საწარმოებს შეუძლიათ დაამონტაჟონ მაღალი სიზუსტის მუდმივი ტემპერატურის კონდიცირების სისტემა, მუდმივად აკონტროლონ და ზუსტად დაარეგულირონ გარემოს ტემპერატურა, შეინარჩუნონ გრანიტის ფუძის ზომა სტაბილური, რათა უზრუნველყონ პლატფორმის მაღალი სიზუსტის მუშაობა.
2. ტენიანობა: გონივრული კონტროლი, ბაზის მუშაობის დაცვა
ტენიანობას ასევე მნიშვნელოვანი გავლენა აქვს ზუსტი გრანიტის ფუძეებზე. მაღალი ტენიანობის გარემოში გრანიტი ადვილად შთანთქავს წყლის ორთქლს და შესაძლოა ზედაპირზე კონდენსაცია წარმოიქმნას, რაც არა მხოლოდ ხელს შეუშლის ჰაერის ფლოტაციის სისტემის ნორმალურ ფუნქციონირებას, არამედ გამოიწვევს გრანიტის ზედაპირის ხანგრძლივ ეროზიას, რაც ამცირებს მის სიზუსტეს და მომსახურების ვადას. ოპტიკური ლინზების დაფქვის სახელოსნოს მაგალითის სახით, თუ ტენიანობა დიდი ხნის განმავლობაში 60%-ზე მაღალია, გრანიტის ფუძის ზედაპირზე ადსორბირებული წყლის ორთქლი დაარღვევს ჰაერის მცურავი ფენის ერთგვაროვნებას, რაც გამოიწვევს ლინზების დაფქვის სიზუსტის შემცირებას და ზედაპირის დეფექტებს. ამიტომ, სამუშაო გარემოს ფარდობითი ტენიანობა უნდა კონტროლდებოდეს 40%-60%-ის ფარგლებში. საწარმოებს შეუძლიათ გამოიყენონ ჰაერის გამშრობები, ტენიანობის სენსორები და სხვა აღჭურვილობა ტენიანობის რეალურ დროში მონიტორინგისა და კონტროლისთვის, ზუსტი გრანიტის ფუძისთვის შესაფერისი ტენიანობის გარემოს შესაქმნელად და ზუსტი სტატიკური წნევის ჰაერის მცურავი მოძრაობის პლატფორმის სტაბილური მუშაობის უზრუნველსაყოფად.

3. სისუფთავე: მკაცრად კონტროლი, ნაწილაკების ჩარევის აღმოფხვრა
მტვრის ნაწილაკები წარმოადგენენ ზუსტი სტატიკური წნევის ჰაერის მცურავი მოძრაობის პლატფორმის „მტრებს“ და დიდ ზიანს აყენებენ გრანიტის ზუსტი ფუძეს. როგორც კი პაწაწინა ნაწილაკები მოხვდებიან გაზის აპკის ნაპრალში გაზის მცურავ სლაიდერსა და გრანიტის ფუძეს შორის, მათ შეუძლიათ დაარღვიონ გაზის აპკის ერთგვაროვნება, გაზარდონ ხახუნი და ფუძის ზედაპირიც კი დაკაწრონ, რაც სერიოზულად იმოქმედებს პლატფორმის მოძრაობის სიზუსტეზე. აერონავტიკის ნაწილების ულტრაზუსტი დამუშავების სახელოსნოში, თუ ჰაერში არსებული მტვრის ნაწილაკები გრანიტის ფუძეზე დაეცემა, დამუშავების ხელსაწყოს მოძრაობის ტრაექტორია შეიძლება გადახრილი იყოს, რაც გავლენას მოახდენს ნაწილების დამუშავების სიზუსტეზე. ამიტომ, სამუშაო ადგილი უნდა იყოს მაღალი სისუფთავის და მიღწეული იყოს 10,000 ან მეტი სისუფთავის სტანდარტი. საწარმოებს შეუძლიათ ჰაერში მტვრის ნაწილაკების გაფილტვრა მაღალი ეფექტურობის ჰაერის ფილტრების (HEPA) დაყენებით და მოითხოვონ პერსონალისგან მტვრისგან თავისუფალი ტანსაცმლის, ფეხსაცმლის გადასაფარებლების და ა.შ. ტარება, რათა შემცირდეს ადამიანების მიერ მოტანილი მტვერი და შენარჩუნდეს გრანიტის ფუძისა და ზუსტი სტატიკური წნევის ჰაერის მცურავი მოძრაობის პლატფორმის მაღალი სიზუსტის სამუშაო გარემო.
4. ვიბრაცია: ეფექტური იზოლაცია გლუვი სივრცის შესაქმნელად
გარე ვიბრაცია სერიოზულად შეაფერხებს ზუსტი სტატიკური წნევის ჰაერის მცურავი პლატფორმის სიზუსტეს, თუმცა ზუსტი გრანიტის ფუძეს აქვს ვიბრაციის შემამცირებელი გარკვეული უნარი, მაგრამ მაღალი სიმტკიცის ვიბრაციამ მაინც შეიძლება გადააჭარბოს მის ბუფერულ ზღვარს. ქარხნის გარშემო მოძრაობისა და დიდი მექანიკური აღჭურვილობის მუშაობის შედეგად წარმოქმნილი ვიბრაცია მიწის გავლით გრანიტის ბაზაზე გადადის, რაც ხელს უშლის პლატფორმის მოძრაობის სიზუსტეს. მაღალი დონის CMM-ში ვიბრაციამ შეიძლება გამოიწვიოს საზომ ზონდსა და გასაზომ სამუშაო ნაწილს შორის კონტაქტის არასტაბილურობა, რაც გამოიწვევს გაზომვის მონაცემების გადახრას. ამ პრობლემის გადასაჭრელად აუცილებელია ვიბრაციის იზოლაციის ეფექტური ზომების მიღება, როგორიცაა ვიბრაციის იზოლაციის ბალიშების განთავსება აღჭურვილობის დამონტაჟების ადგილას, ვიბრაციის იზოლაციის საფუძვლის აგება ან აქტიური ვიბრაციის იზოლაციის სისტემის გამოყენება გარე ვიბრაციის აქტიურად კომპენსაციისთვის და გრანიტის ზუსტი ბაზისა და ზუსტი სტატიკური წნევის ჰაერის მცურავი პლატფორმისთვის მშვიდი და სტაბილური სამუშაო გარემოს შექმნა.
ზემოთ ჩამოთვლილი გარემოსდაცვითი მოთხოვნების დაკმაყოფილება, რათა სრულად იქნას გამოყენებული გრანიტის ზუსტი ბაზის უპირატესობები ზუსტი სტატიკური წნევის ჰაერის მცურავი მოძრაობის პლატფორმაში, რათა უზრუნველყოფილი იყოს მაღალი სიზუსტის და მაღალი სტაბილურობის მოძრაობის კონტროლის სერვისები სხვადასხვა ინდუსტრიისთვის. თუ საწარმოები ყურადღებას მიაქცევენ ამ დეტალებს წარმოების გარემოში, ისინი გამოიყენებენ შესაძლებლობებს ზუსტი წარმოების, სამეცნიერო კვლევისა და სხვა სფეროებში, გააძლიერებენ თავიანთ კონკურენტუნარიანობას და მიაღწევენ მდგრად განვითარებას.