ზუსტი მინის კომპონენტები ოპტიკურ სისტემებში: გამოყენება და წარმოების გამოწვევები

ოპტიკური მინა თანამედროვე ფოტონიკის ხერხემალია. კომუნიკაციიდან თავდაცვამდე, ამ კომპონენტების მიმართ მოთხოვნები სულ უფრო მკაცრი ხდება.

მაღალი სიმძლავრის ლაზერულ სისტემებში ოპტიკურმა კომპონენტებმა უნდა გაუძლონ ენერგიის უზარმაზარ სიმკვრივეს. მინაში ნებისმიერმა მიკროსკოპულმა დეფექტმა ან მინარევმა შეიძლება გამოიწვიოს ლაზერით გამოწვეული დაზიანება, რაც საფრთხეს უქმნის მთელ სისტემას. აქ წარმოების აქცენტი კეთდება ზედაპირქვეშა დაზიანების აღმოფხვრასა და მაღალი ერთგვაროვნების უზრუნველყოფაზე, რათა თავიდან იქნას აცილებული სხივის დამახინჯება.

კოსმოსური ტელესკოპებისა და დისტანციური ზონდირების ინსტრუმენტების აპერტურის ზომის ზრდასთან ერთად (რომელიც ამჟამად 4 მეტრს აჭარბებს), იზრდება მსუბუქი წონისა და ზედაპირის სიზუსტის მოთხოვნა. კოსმოსური ოპტიკურმა კომპონენტებმა უნდა შეინარჩუნონ ფორმა ექსტრემალურ თერმულ გარემოში, რაც მოითხოვს მასალებს ულტრადაბალი თერმული გაფართოების კოეფიციენტებით.

ნახევარგამტარული ინდუსტრიაში, EUV ლითოგრაფიული სისტემები ეყრდნობა ამრეკლავ სარკეებს, რომელთა ზედაპირის უხეშობა 0.1 ნმ-ზე (RMS) ნაკლებით არის კონტროლირებადი. ატომური დონის დარტყმებსაც კი შეუძლიათ სინათლის გაფანტვა და ჩიპის გარჩევადობის დარღვევა. ეს წარმოადგენს ოპტიკური მინის წარმოების მწვერვალს.

წარმოების გამოწვევა: სტრესი, სიბრტყე და სიგლუვე

1. შინაგანი სტრესის კონტროლი

• გამოწვევა: მაგარი, მყიფე მინის დამუშავება ხშირად მიკროდაძაბულობას იწვევს.
• ჩვენი მიდგომა: ჩვენ ვიყენებთ მოწინავე გამოწვის პროცესებს და დაბალი დაზიანების ფორმირების ტექნიკას. გაგრილების სიჩქარის მკაცრი კონტროლითა და სტრესის შემამსუბუქებელი დამუშავების სტრატეგიების გამოყენებით, ჩვენ ვუზრუნველყოფთ მინის შიდა სტრუქტურის ნეიტრალურ და სტაბილურ შენარჩუნებას.

2. ულტრამაღალი სიბრტყის მიღწევა (დაბალი სიხშირის სიზუსტე)

• გამოწვევა: ტრადიციულმა დაფქვამ შეიძლება გამოიწვიოს ტალღისებრი ფორმა ან შეცდომები, რაც ამცირებს ტალღის ფრონტის სიზუსტეს.
• ჩვენი მიდგომა: ჩვენ ვიყენებთ მაღალი სიზუსტის კომპიუტერული კონტროლირებადი ოპტიკურ ზედაპირულ დამუშავებას (CCOS). ეს საშუალებას გვაძლევს გამოვასწოროთ დაბალი სიხშირის შეცდომები (ფორმის გადახრები) პიკიდან ველამდე (PV) მნიშვნელობების მისაღწევად, რომლებიც ხშირად 1 ნმ-ზე ნაკლებია, რაც უზრუნველყოფს ოპტიკური გზის იდეალურად გასწორებას.

3. ზედაპირის უხეშობა (მაღალი სიხშირის სიგლუვე)

• გამოწვევა: დაფქვის შედეგად დარჩენილი „ნისლის“ და მიკრონაკაწრების მოსაშორებლად საჭიროა მასალის მოცილებიდან ზედაპირის გასწორებაზე გადასვლა.
• ჩვენი მიდგომა: ჩვენ ვიყენებთ მოწინავე გაპრიალების ტექნოლოგიებს, მათ შორის მაგნიტური დახმარებით დასრულებას. ეს ტექნიკა საშუალებას იძლევა რთული ფორმების (მაგალითად, თავისუფალი ფორმის ლინზების) პარტიული დამუშავების, ნანომეტრზე ნაკლები ზედაპირის უხეშობის (Ra < 0.6 ნმ) მიღწევის პარალელურად, ახალი ზედაპირული დაზიანების გარეშე.

ZHHIMG: თქვენი პარტნიორი ულტრა-ზუსტობაში

• რთული გეომეტრიები: თავისუფალი ფორმის, ასფერული და ბრტყელი ოპტიკური კომპონენტების დამუშავება.
• მეტროლოგია და ინსპექტირება: ინტერფერომეტრებისა და პროფილომეტრების გამოყენება ზედაპირის ხარისხისა და ფორმის სიზუსტის რეალურ დროში დასადასტურებლად.
• მასალების ექსპერტიზა: ღრმა გამოცდილება დნობადი სილიციუმის, კვარცის და სპეციალიზებული ოპტიკური მინების გამოყენებაში, რომლებიც ცნობილია მაღალი გამტარობითა და დაბალი გაფართოებით.