გრანიტის კომპონენტები ფართოდ გამოიყენება ნახევარგამტარების წარმოების პროცესში მათი შესანიშნავი მახასიათებლების გამო, როგორიცაა ზედაპირის უმაღლესი დამუშავება, მაღალი სიმტკიცე და ვიბრაციის შესანიშნავი დემპფერაცია. გრანიტის კომპონენტები აუცილებელია ნახევარგამტარების წარმოების აღჭურვილობისთვის, მათ შორის ლითოგრაფიული მანქანებისთვის, გასაპრიალებელი მანქანებისთვის და მეტროლოგიური სისტემებისთვის, რადგან ისინი უზრუნველყოფენ ზუსტ პოზიციონირებას და სტაბილურობას წარმოების პროცესის დროს. გრანიტის კომპონენტების გამოყენების ყველა უპირატესობის მიუხედავად, მათ ასევე აქვთ დეფექტები. ამ სტატიაში განვიხილავთ ნახევარგამტარების წარმოების პროცესის პროდუქტებში გრანიტის კომპონენტების დეფექტებს.
პირველ რიგში, გრანიტის კომპონენტებს აქვთ მაღალი თერმული გაფართოების კოეფიციენტი. ეს ნიშნავს, რომ ისინი მნიშვნელოვნად ფართოვდებიან თერმული დატვირთვის ქვეშ, რამაც შეიძლება პრობლემები გამოიწვიოს წარმოების პროცესში. ნახევარგამტარული წარმოების პროცესი მოითხოვს მაღალ სიზუსტეს და განზომილებიან სიზუსტეს, რაც შეიძლება დაირღვეს თერმული დატვირთვის გამო. მაგალითად, თერმული გაფართოების გამო სილიციუმის ვაფლის დეფორმაციამ შეიძლება გამოიწვიოს გასწორების პრობლემები ლითოგრაფიის დროს, რამაც შეიძლება უარყოფითად იმოქმედოს ნახევარგამტარული მოწყობილობის ხარისხზე.
მეორეც, გრანიტის კომპონენტებს აქვთ ფორიანობის დეფექტები, რამაც შეიძლება გამოიწვიოს ვაკუუმური გაჟონვა ნახევარგამტარული წარმოების პროცესში. სისტემაში ჰაერის ან სხვა ნებისმიერი აირის არსებობამ შეიძლება გამოიწვიოს ვაფლის ზედაპირის დაბინძურება, რაც გამოიწვევს დეფექტებს, რომლებმაც შეიძლება გავლენა მოახდინოს ნახევარგამტარული მოწყობილობის მუშაობაზე. ინერტული აირები, როგორიცაა არგონი და ჰელიუმი, შეიძლება შეაღწიონ ფოროვან გრანიტის კომპონენტებში და შექმნან გაზის ბუშტები, რამაც შეიძლება ხელი შეუშალოს ვაკუუმური პროცესის მთლიანობას.
მესამე, გრანიტის კომპონენტებს აქვთ მიკრობზარები, რომლებმაც შეიძლება ხელი შეუშალონ წარმოების პროცესის სიზუსტეს. გრანიტი არის მყიფე მასალა, რომელსაც დროთა განმავლობაში შეუძლია მიკრობზარების გაჩენა, განსაკუთრებით მუდმივი დაძაბულობის ციკლების ზემოქმედებისას. მიკრობზარების არსებობამ შეიძლება გამოიწვიოს განზომილებიანი არასტაბილურობა, რაც წარმოების პროცესში მნიშვნელოვან პრობლემებს გამოიწვევს, როგორიცაა ლითოგრაფიის გასწორება ან ვაფლის გაპრიალება.
მეოთხე, გრანიტის კომპონენტებს შეზღუდული მოქნილობა აქვთ. ნახევარგამტარების წარმოების პროცესი მოითხოვს მოქნილ აღჭურვილობას, რომელსაც შეუძლია სხვადასხვა პროცესის ცვლილებების გათვალისწინება. თუმცა, გრანიტის კომპონენტები ხისტია და არ შეუძლიათ სხვადასხვა პროცესის ცვლილებებთან ადაპტირება. ამიტომ, წარმოების პროცესში ნებისმიერი ცვლილება მოითხოვს გრანიტის კომპონენტების მოხსნას ან შეცვლას, რაც იწვევს შეფერხებას და გავლენას ახდენს პროდუქტიულობაზე.
მეხუთე, გრანიტის კომპონენტები მათი წონისა და მყიფეობის გამო განსაკუთრებულ დამუშავებასა და ტრანსპორტირებას საჭიროებენ. გრანიტი მკვრივი და მძიმე მასალაა, რომელიც სპეციალიზებულ დამუშავების აღჭურვილობას, როგორიცაა ამწეები და ამწევი მოწყობილობები, საჭიროებს. გარდა ამისა, გრანიტის კომპონენტები ფრთხილად შეფუთვასა და ტრანსპორტირებას საჭიროებს ტრანსპორტირების დროს დაზიანების თავიდან ასაცილებლად, რაც დამატებით ხარჯებსა და დროს იწვევს.
დასკვნის სახით, გრანიტის კომპონენტებს აქვთ გარკვეული ნაკლოვანებები, რომლებმაც შეიძლება გავლენა მოახდინონ ნახევარგამტარული წარმოების პროცესის პროდუქციის ხარისხსა და პროდუქტიულობაზე. ეს დეფექტები შეიძლება მინიმუმამდე იქნას დაყვანილი გრანიტის კომპონენტების ფრთხილად დამუშავებითა და მოვლით, მათ შორის მიკრობზარებისა და ფორიანობის დეფექტების პერიოდული შემოწმებით, დაბინძურების თავიდან ასაცილებლად სათანადო გაწმენდით და ტრანსპორტირების დროს ფრთხილად დამუშავებით. დეფექტების მიუხედავად, გრანიტის კომპონენტები ნახევარგამტარული წარმოების პროცესის მნიშვნელოვან ნაწილად რჩება მათი უმაღლესი ზედაპირის დამუშავების, მაღალი სიმტკიცისა და ვიბრაციის შესანიშნავი დემპფერაციის გამო.
გამოქვეყნების დრო: დეკემბერი-05-2023