გრანიტის კომპონენტები ფართოდ იქნა გამოყენებული ნახევარგამტარული წარმოების პროცესში, მათი შესანიშნავი მახასიათებლების გამო, როგორიცაა უმაღლესი ზედაპირის დასრულება, მაღალი სიმტკიცე და ვიბრაციის შესანიშნავი აორთქლება. გრანიტის კომპონენტები აუცილებელია ნახევარგამტარული ფაბრიკაციის აღჭურვილობისთვის, მათ შორის ლითოგრაფიული აპარატების, გასაპრიალებელი აპარატების და მეტროლოგიის სისტემებისთვის, რადგან ისინი უზრუნველყოფენ სიზუსტის პოზიციონირებას და სტაბილურობას წარმოების პროცესში. გრანიტის კომპონენტების გამოყენების ყველა უპირატესობის მიუხედავად, მათ ასევე აქვთ დეფექტები. ამ სტატიაში განვიხილავთ გრანიტის კომპონენტების დეფექტებს ნახევარგამტარული წარმოების პროცესის პროდუქტებისთვის.
პირველი, გრანიტის კომპონენტებს აქვთ მაღალი თერმული გაფართოების კოეფიციენტი. ეს ნიშნავს, რომ ისინი მნიშვნელოვნად აფართოებენ თერმული სტრესის ქვეშ, რამაც შეიძლება გამოიწვიოს პრობლემები წარმოების პროცესში. ნახევარგამტარული წარმოების პროცესი მოითხოვს მაღალი სიზუსტით და განზომილებიანი სიზუსტით, რაც შეიძლება კომპრომისული იყოს თერმული სტრესის გამო. მაგალითად, თერმული გაფართოების გამო სილიკონის ვაფლის დეფორმაციამ შეიძლება გამოიწვიოს ლითოგრაფიის დროს გასწორების საკითხები, რამაც შეიძლება კომპრომეტირება მოახდინოს ნახევარგამტარული მოწყობილობის ხარისხზე.
მეორე, გრანიტის კომპონენტებს აქვთ ფორიანობის დეფექტები, რამაც შეიძლება გამოიწვიოს ვაკუუმის გაჟონვა ნახევარგამტარული წარმოების პროცესში. სისტემაში ჰაერის ან სხვა გაზის არსებობამ შეიძლება გამოიწვიოს დაბინძურება ვაფლის ზედაპირზე, რის შედეგადაც დეფექტები შეიძლება გავლენა იქონიოს ნახევარგამტარული მოწყობილობის მუშაობაზე. ინერტული გაზები, როგორიცაა არგონი და ჰელიუმი, შეეძლოთ ფოროვან გრანიტის კომპონენტებში ჩასვლა და გაზის ბუშტები შექმნან, რამაც შეიძლება ხელი შეუშალოს ვაკუუმის პროცესის მთლიანობას.
მესამე, გრანიტის კომპონენტებს აქვთ მიკროფრაქციები, რამაც შეიძლება ხელი შეუშალოს წარმოების პროცესის სიზუსტეს. გრანიტი არის მყიფე მასალა, რომელსაც შეუძლია დროთა განმავლობაში მიკროფრაქციების განვითარება, განსაკუთრებით მაშინ, როდესაც მუდმივი სტრესული ციკლები ექვემდებარება. მიკროფრაქციების არსებობამ შეიძლება გამოიწვიოს განზომილებიანი არასტაბილურობა, რამაც მნიშვნელოვანი პრობლემები გამოიწვიოს წარმოების პროცესში, მაგალითად, ლითოგრაფიის გასწორება ან ვაფლის გასაპრიალებელი.
მეოთხე, გრანიტის კომპონენტებს აქვთ შეზღუდული მოქნილობა. ნახევარგამტარული წარმოების პროცესი მოითხოვს მოქნილ აღჭურვილობას, რომელიც შეიძლება განიხილოს სხვადასხვა პროცესის ცვლილებებით. ამასთან, გრანიტის კომპონენტები ხისტია და ვერ ადაპტირდება სხვადასხვა პროცესის ცვლილებებთან. ამრიგად, წარმოების პროცესში ნებისმიერი ცვლილება მოითხოვს გრანიტის კომპონენტების მოცილებას ან ჩანაცვლებას, რაც იწვევს შემცირებას და გავლენას ახდენს პროდუქტიულობაზე.
მეხუთე, გრანიტის კომპონენტები საჭიროებენ სპეციალურ მართვას და ტრანსპორტირებას მათი წონისა და მყიფეობის გამო. გრანიტი არის მკვრივი და მძიმე მასალა, რომელიც მოითხოვს სპეციალიზებული სატრანსპორტო საშუალებებს, როგორიცაა ამწეები და ლიფტები. გარდა ამისა, გრანიტის კომპონენტები მოითხოვს ფრთხილად შეფუთვას და ტრანსპორტირებას, რათა თავიდან აიცილონ ზიანი გადაზიდვის დროს, რაც იწვევს დამატებით ხარჯებს და დროს.
დასკვნის სახით, გრანიტის კომპონენტებს აქვთ გარკვეული ნაკლოვანებები, რამაც შეიძლება გავლენა მოახდინოს ნახევარგამტარული წარმოების პროცესის პროდუქტების ხარისხზე და პროდუქტიულობაზე. ეს დეფექტები შეიძლება შემცირდეს გრანიტის კომპონენტების ფრთხილად გატარებისა და შენარჩუნების გზით, მათ შორის მიკროფრაქციებისა და ფორიანობის დეფექტების პერიოდული შემოწმების ჩათვლით, სათანადო გაწმენდის მიზნით, დაბინძურების თავიდან ასაცილებლად და ტრანსპორტირების დროს ფრთხილად გატარება. დეფექტების მიუხედავად, გრანიტის კომპონენტები ნახევარგამტარული წარმოების პროცესის მნიშვნელოვან ნაწილად რჩება მათი ზედაპირის უმაღლესი დასრულების, მაღალი სიმტკიცე და ვიბრაციის შესანიშნავი აორთქლების გამო.
პოსტის დრო: დეკ. -05-2023